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热丝HFCVD化学气相沉积设备应用-HF600

2018-06-26 点击数:

HF600热丝CVD设备链接:http://technol.cn/cpzx/showproduct.php?lang=cn&id=36

 

北京泰科诺科技15年真空行业经验,独立研发的热丝法制备金刚石膜方法填补了国内行业空白,产品获得多项国家专利和认证。广泛适用于各大高校、科研院所和生产企业实现教学、研发和中试之目的。目前已初步实现产业化生产。

 

一、制备金刚石厚膜
1、连续沉积40天,膜层厚度2.1mm。
2、可以把厚膜经过激光切割成金刚石刀粒,钎焊在刀架上,制成金刚石钎焊刀具,用于盾构机的高耐磨刀具,用于超精密切削,可用来加工高硅铝合金、碳纤维材料、各种有色金属、复合材料、陶瓷和塑料等难加工材料,替代PCD或单晶金刚石刀具。

 

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            ①金刚石厚膜                                 ②金刚石钎焊刀具                   ③金刚石膜显微镜照片,表面晶粒明显

 

二、制备金刚石涂层

1、通过HFCVD方法直接在刀具表面沉积金刚石涂层,可在任意形状的工具衬底上沉积,应用于加工高硬度材料。

2、金刚石膜的多晶特征所具有的准各向同性,在做拉丝模时,模孔均匀磨损,优于金刚石单晶拉丝模具的使用性能,目前技术已相对比较成熟。

 

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                 ①PCB刀具                                      ②拉丝模具                     ③微米级热丝金刚石涂层显微镜照片

 

三、制备金刚石导电电极涂层
1、金刚石薄膜电极:利用掺杂硼元素,赋予了金刚石薄膜电极优异的电化学特性,如宽的电化学视窗、较低的背景电流、较好的物理化学稳定性及低吸附特性等,使用其优异的性能,适用于有毒、难降解的强酸、强碱等高浓度有机污染物废水的电化学处理。

 

 图片关键词

     ①金刚石薄膜电极  

四、更多在开发中的应用项目

——通过HFCVD制备可以作为热沉片应用的金刚石厚膜;
——制作CVD金刚石细长管,可以应用于高硬度磨料喷射的喷嘴;
——在光滑衬底上直接沉积金刚石薄膜,用于平面耐磨器件对耐磨性和高精度的要求。