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纳米超硬膜涂层设备 GDM900

一、产品概述

1、主要用途及应用范围:该设备可制备TiN\CrN\AlCrN\ZrN\TiC\TiCN\TiAlN\TiAlCN\DLC膜等,非常适合生产企业大批量在刀具(钻头、铣刀、拉刀、丝锥、滚齿刀等)、高精工模具(冲压模具、剪切模具、成型模具、注塑模具等)及其他关键部件上镀制单层/多层硬质涂层、耐腐蚀涂层等功能薄膜。

2、产品优点及特点:设备采用全自动的控制方式,先进的工艺流程控制模式,性能稳定可靠,操作简单方便。并集成先进的新型弧源镀膜技术和离子辅助前处理镀膜技术,可镀高质量、成膜致密、结合力好、硬度高的硬质涂层,大幅度提高工具及刀具使用寿命。该设备集成国际领先技术,性能国内领先。

 

二、技术参数

型号GDM900
真空腔室尺寸Φ900×H930mm
真空系统国产或进口分子泵+罗茨泵+机械泵高真空系统
极限真空优于8.0×10-5Pa
抽速从大气到5×10-3Pa≤25min, 升压率关机12小时后真空度≤10Pa
工件架尺寸8-12工位,3轴联动工件架二套;配专用工件车
工件烘烤温度室温~500℃,可调可控(PID控温)
配置新型弧源、离子源、偏压
系统全自动控制系统,个性化的Tech-Coating控制菜单,安全保护系统
占地面积长×宽:4m×3m